Vákuumos bevonó katódos ív technológia a rendkívül magas lerakódási sebességért

Vákuumos bevonó katódos ív technológia a rendkívül magas lerakódási sebességért

A vákuumbevonatoló gép katódíves technológiája olyan technológia, amely vákuumkörnyezetben ívkisülést használ a szilárd katód célpontjának elpárologtatására és ionizálására, majd az anód szubsztrát felületére repülve, hogy a plazma erősítő hatása révén filmet rakjon le. . Emiatt a katódos ívtechnológia rendkívül magas leválasztási sebességgel rendelkezik.

Inert gázt vagy reaktív gázt tartalmazó vákuumkörnyezetben lerakódik az alapfelületre. A nagy energiájú ionsugár nagyon előnyös a film szubsztrát kötőerejének javítására és a film oszlopos kristályszerkezetének megzavarására, ami szintén nagyban javíthatja a film szervezését. Szerkezeti és mechanikai tulajdonságok. Jelenleg a különböző vékonyréteg-berendezések gyártói különféle intézkedéseket fogadtak el a "cseppek" képződésének csökkentésére a filmképző elvek és eljárások kutatása révén.

Közülük a BAI1200 és az RCS körkörös sík katódforrás-technológiát és sugárzásos fűtési technológiát alkalmaz, amelyek gyors bevonatgyártást végezhetnek. Az ezzel az eljárással előállított TiAlN növelheti a megmunkáló szerszám vágóélének stabilitását és lehetővé teszi a száraz vágást.

A vákuumbevonatoló gép a reagensek egyenletes keverését biztosítja hosszú ideig és stabil koncentrációt

A tényleges alkalmazási folyamatban az érzékelő berendezés tanulmányozása és fejlesztése érdekében, tekintettel arra, hogy a hőmérséklet befolyásolja a szűrőanyag adszorpciós és abszorpciós teljesítményét, az eszközt egy légkondicionált helyiségben helyezik el. A páratartalom befolyásolja egyrészt a szűrőanyagok nedvességfelvételét, másrészt befolyásolja a reagensek abszorpciós teljesítményét, ami szigorú ellenőrzést igényel. Meghatározása a katalizátor mérőcső és a fajlagos fordulatszám alapján történik. Az áramlási sebesség fordítottan arányos a dinamikus védelmi idővel, és a reagenskoncentráció is fordítottan arányos a dinamikus védelmi idővel. Az ingadozás a végpont meghatározását is befolyásolja.

A követelmények teljesítése érdekében időről időre különféle fejlesztésekre kerül sor. A fő szempont az, hogy az E plus E29 hőmérséklet- és páratartalom-érzékelő a nedves és száraz izzós higrométer cseréjére szolgál. A jet pump technológia a reagensek egyenletes keveredését valósítja meg hosszú ideig, és a koncentráció stabil alacsonyabb reagensnyomás mellett is.

www.superbheater.com