Vákuumos bevonógép aktív reakciómódszere

Vákuumos bevonógép aktív reakciómódszere

 

Elektronnyaláb Másodlagos elektron egyenáram: 200V Reaktív gáz o2, n2, ch4, c2h4 stb. Fém és reaktív gáz kombinációjával különféle kiöntő filmrétegek készíthetők Elektronikus, dekoratív, kopásálló és egyéb bevonat alkatrészek

Vákuumos bevonó fókuszált ionsugaras módszer

 

Ellenállás Kondenzált ionsugár egyenáram: 0v-5kv Inert gáz Az ioncsomósodás miatt a filmréteg kötőereje erős Elektronikus alkatrészek

Vákuumos bevonó többkatódos módszer

 

Ellenállás, elektronsugár, termikus egyenáram: 0v-5kv, inert gáz vagy reaktív gáz, jó kis sebességű elektronionizációs hatás, dekoratív, elektronikus, precíziós gépek és egyéb alkatrészek

Vákuumos bevonógép elektromos terepi elpárologtatási módszer

 

Elektronnyaláb Másodlagos elektron egyenáram: 1kv-5kv Vákuum Kevésbé szennyezett gáz, jobb filmet képezhet Elektronikus alkatrészek

Vákuumos bevonógép frekvenciamodulációs gerjesztési módszere

 

Ellenállás, elektronsugaras RF elektromos tér 13.56mhzdc: 0.1kv-5kv Inert gáz vagy reaktív gáz Nagy ionizációs sebesség, erős filmkötési erő, a bevont részek alacsony hőmérséklet-emelkedése, de gyenge diszperzió Optikai, félvezető és egyéb bevonatos alkatrészek

Vákuumos bevonógép üreges katódos módszer

 

Üreges katód Plazma elektronsugár egyenáram: 0v-200v Inert gáz vagy reaktív gáz Nagy ionizációs sebesség, nagy párolgási sebesség, könnyen előállítható nagy tisztaságú filmréteg Dekoratív, kopásálló és egyéb bevonat alkatrészek

Vákuumos bevonógép ívkisülési módszere

 

Elektronsugár, izzószál Ívkisülés egyenáram: 100v Nagy vákuum 1,33x10-4pa Nagy ionizációs sebesség, könnyen reakciófilmet képezhet, nagy vákuumban filmet képezhet, ami javítja a vágószerszámok minőségét, fém dekoráció és egyéb bevont alkatrészek

 

Vákuumos bevonógép egyenáramú kisülési módszere

 

Ellenállás izzító kisülés dc: {{0}}.1kv ~ 5kv inert gáz 1pa, 0,25ma/cm2 Egyszerű szerkezet, erős filmtapadás, de a bevont részek hőmérséklete emelkedik, a diszperzió rossz! Hőálló, olajozott és egyéb bevonatos alkatrészek

A vákuumbevonatoló gép ionozásának típusai és jellemzői

 

Az ionozás egy leválasztási technológia, amelyet a vákuumpárologtatás és a porlasztás két technológiájának kombinálásával fejlesztettek ki. Vákuumos körülmények között a bevonóanyagot megfelelő módszerrel elpárologtatják, a munkagázt és az elpárolgott anyagot gázkisüléssel részlegesen ionizálják. A gázionok és az elpárolgott anyagionok bombázása során a párolgási anyag vagy reakcióterméke a hordozón egy membránba rakódik le. Az ionos bevonat alapfolyamata magában foglalja a bevonóanyag elpárologtatását, ionizálását, iongyorsítását és ionos bombázását, hogy filmet képezzenek a munkadarab felületén. A bevonóanyagok különböző bepárlási és gázionizációs módszerei szerint különböző típusú ionbevonat jön létre. Az alábbi táblázat több fő ionozást mutat be. Az ionbevonat előnyei a bevonat és az aljzat közötti jó tapadás, a jó diffrakciós teljesítmény, a bevont anyagok széles választéka és a gyors lerakódási sebesség.

www.superbheater.com