A vákuumbevonatoló gép nagyfrekvenciás tápegységet használ, és erős kondenzátort adnak a hurokhoz.
Hagyjon üzenetet
A vákuumbevonatoló gép nagyfrekvenciás tápegységet használ, és erős kondenzátort adnak a hurokhoz.
A probléma megoldására találták fel a magnetron reaktív porlasztást. Ez azt jelenti, hogy fém céltárgyat használunk, argont és reaktív gázt, például nitrogént vagy oxigént adunk hozzá. Amikor a fémtárgy eléri az alkatrészt, az egyesül a reaktív gázzal, és az energiaátalakítás következtében nitrideket vagy oxidokat képez.
A fémek és ötvözetek mágnesronos célforrásokkal könnyen porlasztása, a gyújtás és a porlasztás pedig kényelmes. Ennek oka, hogy a porlasztott rész célpontja (katódja), plazmája és vákuumkamrája áramkört alkothat. De ha szigetelőket, például kerámiát porlasztó, az áramkör megszakad. Ezért az emberek nagyfrekvenciás tápegységet használnak, és erős kondenzátort adnak a hurokhoz. Ily módon a célanyag kondenzátorrá válik a szigetelő áramkörben.
A célanyag felhasználási arányának növelése érdekében a vákuumbevonatoló gép forgó mágneses mezőt használhat
A mágneses mező és az elektronok közötti kölcsönhatást arra használják, hogy az elektronok spirálisan futjanak a célfelület közelében, ezáltal növelve annak valószínűségét, hogy az elektronok az argongázhoz ütközve ionokat generálnak. A keletkezett ionok elektromos tér hatására elérik a célfelületet, hogy kiporlasztják a célpontot. Az elmúlt évtizedek fejlődése során az állandó mágnesek fokozatosan elterjedtek, és a tekercsmágneseket ritkán használják. Függetlenül az egyensúlytól vagy a kiegyensúlyozatlanságtól, ha a mágnes álló helyzetben van, a mágneses tér jellemzői azt határozzák meg, hogy az általános célkihasználási arány kevesebb, mint 30 százalék. A célanyag felhasználási arányának növelése érdekében forgó mágneses mezőt lehet alkalmazni. De a mágneses mező forgatásához forgó mechanizmusra van szükség, és ezzel egyidejűleg a porlasztási sebesség csökken.
www.superbheater.com
