Vákuumos ezüstporlasztással előállított TiCN vékonyrétegek szerkezete és tulajdonságai
Hagyjon üzenetet
Vákuumos ezüstporlasztással előállított TiCN vékonyrétegek szerkezete és tulajdonságai
A TiCN vékony filmeket M2 nagysebességű acél szubsztrátumokra állítottuk elő grafit és titán céltárgyak együttes porlasztásával nitrogén és argon kevert atmoszférájában. Meghatároztuk a TiCN vékonyréteg keménységét, a vékonyréteg és a szubsztrát kötési állapotának értékelésére benyomódásos és karcolásos módszert alkalmaztunk. A TiCN vékonyréteg csap vágási tesztjét végeztük el a TiCN vékonyréteg tartósságának vizsgálatára. Az eredmények azt mutatják, hogy a TiCN filmben a C atomok szilárd oldat formájában léteznek a TiN rácsban, a TiCN film orientációja a (111) kristálysíkon lényegesen gyengébb, mint a TiN filmé, és a TiCN fólia egy hosszú blokkszerkezet, és oldalsó mérete nagyobb, mint a TiN filmé. A film kicsi, és a TiCN film felülete egyenetlen. A TiCN film és a szubsztrátum közötti kötőerő körülbelül 40 N. A TiCN filmben lévő C atomok szilárd oldatot és szemcsefinomítást erősítenek. A TiCN film keménysége 20,3-ról 33,4 GPa-ra nőtt. A TiCN fólia jó súrlódásgátló tulajdonságokkal rendelkezik, és a TiCN fólia menetfúróinak élettartama 40Cr anyag menetfúrásakor lényegesen hosszabb, mint a TiN fólia menetfúróké és a bevonat nélküli menetfúróké.
TiCN vékonyrétegek készítése vákuum-ezüstözéssel, szilárd C-forrással
Jelenleg a legtöbb PVD-módszer CH4-et vagy C2H2-t használ C-forrásként a TiCN vékonyrétegek előállításához. Az előkészítés során a gázáramlási arány beállításával eltérő elemtartalom-arányú és eltérő tulajdonságú TiCN vékonyrétegek nyerhetők. Ezzel a módszerrel azonban az a probléma, hogy a felesleges szénforrás gáz komoly szennyezést okoz a bevonógép kemence testének belső szerkezetében, és a következő bevonási folyamat során a kemence falán lévő maradék szénréteg felszabadul, ami zavarja a film lerakódási atmoszféráját. A folyamatos gyártás kedvezőtlen, és az ipari gyártás során gyakran a vékonyréteges munkadarabok instabil teljesítményéhez vezet.
www.superbheater.com
