Érzékelő miniatürizálása és chip technológiája

A mikroelektromechanikai rendszer (MEMS) egy mikrokar-rendszer vagy eszköz, amely integrálja a mikro-mechanizmust, a mikro-érzékelőket, a mikro-aktuátorokat, a vezérlőáramköröket, a jelfeldolgozást, a kommunikációt, az interfészeket, a tápegységek stb.

A MEMS technológia magában foglalja: Szilícium-mikromaganatok technológiája, mélyreaktív ionmaratás, Liga technológia, molekuláris összeszerelési technológia, ömlesztett mikromaganatok, felszíni mikromaciók, lézeres mikromaganatok és mikropacaging technológia.

A szilícium -mikromacionáló technológia a MEMS mainstream technológiája. Ez egy precíziós háromdimenziós feldolgozási technológia. Ez egy technológia az érzékelők, mikro-aktuátorok, mikro-aktuátorok és mikro-mechanikai rendszerek fejlesztésére. Sikeresen használják különféle mikro-érzékelők és többfunkciós érzékeny elem tömbök előállításához. Mint például a mikrovakon kapacitív érzékelők, a mikro-szilikon tömegáram-érzékelők, a dinamikus érzékelők és a repülőgép-érzékelők, az autóipari nyomás és a gyorsulási érzékelők, a környezetvédelem mikrokémiai érzékelők stb.

Az érzékelő tömbök és a többérzékelő paraméter kompozitok integrációs technológiája

Az integráció a többszörös érzékelési funkciók integrálására utal az adatfeldolgozáshoz, a tároláshoz, a kétirányú kommunikációhoz, például a nyomás, a statikus nyomás, a hőmérséklet háromváltozós érzékelő; légnyomás, szélerő, hőmérséklet, páratartalom négyváltozós érzékelő; Mikro -szilícium kompozit törzsnyomás -érzékelő és tömbérzékelő stb., Az összes integrációs technológiát használ. Az integrációs folyamat és a többváltozó kompozit érzékelő mikroszerkezete integrált gyártási folyamat, például nyomás, statikus nyomás, hőmérséklet háromváltozós érzékelő, légnyomás, szélerő, hőmérséklet, páratartalom négyváltoztatható érzékelő, mikro-szilícium-összetett törzsnyomás-érzékelő, tömbérzékelő.

Az érzékelő integrációjának kétféle típusa van: az egyik az, hogy több érzékelő modult építsen egy chipen a mikrotermelő technológián keresztül, hogy lineáris érzékelőt képezzen (például a CCD képérzékelő); A másik az, hogy érzékeny komponenseket készítsen, különböző funkciókkal ugyanazon a szilícium chipen, hogy egy integrált multifunkcionális érzékelőt készítsenek, nagy integrációval, kis méretű, könnyű kompenzációval és korrekcióval.