Elektromos fűtőcsövek galvanizáló vegyületeinek készítése

Elektromos fűtőcsövek galvanizáló vegyületeinek készítése

A legtöbb vegyület a termikus bepárlás során teljesen vagy részben lebomlik, ezért egyszerű bepárlási technikákkal nem lehet kémiailag arányos filmréteget előállítani a vegyületbevonat anyagából. Néhány vegyület, például a kloridok, szulfidok és szelenidek, sőt néhány oxid, például a B2O3 és az SnO is elpárologhat. Mivel ritkán bomlanak le, vagy amikor kondenzálódnak, a különféle komponensek újraegyesülnek.

(3) Magas olvadáspontú vegyületek bevonása

Az olyan anyagok olvadáspontja, mint az oxidok, karbidok és nitridek általában magas, és az ilyen vegyületek előállítási költsége is nagyon drága. Ezért a "reakciós bepárlásos plating módszert" gyakran használják vékony filmek előállítására ezekből a vegyületekből. Ilyen például a Tic, Cr2O3, SiO2, Ta2O5, ZrN, Al2O3, AlN, TiN és TiC. A reaktív bepárlási módszer lényege, hogy a szilárd anyagokat aktív gázzal teli atmoszférában párologtatják el, így a kettő reakcióba lép a szubsztrátumon, és összetett bevonatot képez. Például a bevonat, TiC) magában foglalja az acetilén gáz bevezetését a vákuumkamrába, miközben elpárologtatja a T-t, majd a Ti-t acetilénnel reagáltatja a szubsztrátumon, hogy Tic filmréteget kapjon. Ha plazma képződik a párolgási forrás és a szubsztrát között, az növelheti az energiát, az ionizációs sebességet és a reakciógázok közötti kémiai reakció mértékét, amit "aktív reakcióelpárologtatásos bevonatnak" neveznek.

(4) Ionsugárral segített elpárologtatásos bevonási módszer

Amikor az elpárolgó atomok vagy molekulák elérik a szubsztrát felületét, az energia nagyon alacsony (kb. 0,2ev), és a lerakódott részecskék árnyékhatást keltenek a később elrepülő részecskéken, ami oszlopos szemcsés aggregátum szerkezetet eredményez. sok pórussal a filmrétegben. A tapadás gyenge, könnyen felszívja a nedvességet és egyéb gázkomponenseket, ami instabil tulajdonságokat eredményez. A helyzet javítására ionforrásokat lehet használni bombázáshoz. Bevonás előtt néhány száz elektronvoltos ionsugárral bombázzák a szubsztrátot a tisztítás és a felületi aktivitás fokozása érdekében, majd alacsony energiájú ionsugárral bombázzák a párolgás során. Például mangán ionsugárral segített elpárologtatással Zns: Mn elektrolumineszcens vékony filmeket kapunk. Ezenkívül ez a módszer alkalmazható összetett filmek stb.

www.superbheater.com