Hogyan mérjük meg a vákuumbevonó gép filmvastagságát?

Hogyan mérjük meg a vákuumbevonó gép filmvastagságát?

Miután a vákuumbevonó gépet a film bevonására használta, szükség lehet a filmréteg vastagságának mérésére. Milyen módszerrel mérjük a filmréteg vastagságát?

A legközvetlenebb bevonatszabályozási módszer a Quartz Crystal Micro-Balance Method (QCM). Ez a műszer közvetlenül meghajtja a párolgási forrást és a terelőlapot a PID-szabályozáson keresztül, hogy fenntartsa a párolgási sebességet.

Mindaddig, amíg a műszer a rendszervezérlő szoftverhez van csatlakoztatva, képes irányítani a teljes bevonási folyamatot. A (QCM) pontossága azonban korlátozott, részben azért, mert a felvitt bevonat minőségét figyeli, nem pedig az optikai vastagságát.

Továbbá, míg a QCM nagyon stabil alacsonyabb hőmérsékleten, magasabb hőmérsékleten nagyon hőmérsékletérzékenysé válik. Hosszan tartó melegítés során nehéz megakadályozni, hogy az érzékelő erre az érzékeny területre essen, ami jelentős hibákat okoz a filmben.

Az optikai monitorozás a nagy pontosságú bevonatok ellenőrzésének előnyben részesített módszere, mivel lehetővé teszi a rétegvastagság pontosabb szabályozását (ha megfelelően használják).

A pontosság javulása számos tényezőből adódik, de a legalapvetőbb az optikai vastagság monitorozása.

Ha a diffúziós szivattyút 6 hónapnál hosszabb ideig folyamatosan használták, a szivattyúzási sebesség nyilvánvalóan lelassul, vagy nem működik megfelelően. Töltse fel a levegőt a légkörbe, távolítsa el a csatlakozó vízcsövet, vegye le az elektromos tűzhelyet, és csavarja le az első szintű fúvókát. Az epehólyagot egyszer mossuk, majd vízzel elkevert mosóporral mossuk le, majd vízzel alaposan tisztítsuk meg. Miután a víz elpárolgott és megszáradt, szerelje be a szivattyú epehólyagját, adjon hozzá új diffúziós szivattyúolajat, és tegye vissza a testbe, csatlakoztassa a vízcsövet, és szerelje be az elektromos kemencét. lemezt, újraindíthatja. Újraindítás előtt ügyeljen a szivárgás észlelésére. A módszer a következő: indítsa be a karbantartó szivattyút, zárja be az ajtót, majd néhány perc múlva figyelje meg, hogy a diffúziós szivattyú vákuumfoka eléri-e a 6X10 Pa-t, ellenkező esetben szivárgásérzékelést kell végezni.

www.superbheater.com