Vákuumos ezüst bevonatok keménysége és rugalmassági modulusa

Vákuumos ezüst bevonatok keménysége és rugalmassági modulusa

S-4800 (Hitachi, Japán) pásztázó elektronmikroszkóppal (SEM) figyelték meg a TiCN filmek törésszerkezetét és felületi morfológiáját, a műszerhez csatlakoztatott röntgenenergia-diszperzív spektrométert (EDS) pedig a a filmek elemtartalma. A bevonat fázisösszetételét és szemcseméretét X'PertPro (Philips, Holland) röntgendiffrakciós (XRD) készülékkel elemeztük. A bevonatok keménységét és rugalmassági modulusát a NanoIndenterXP tesztrendszerrel (Agilent, Amerika) elemeztük. Ezzel egyidejűleg a fólia és a szubsztrát kötési szilárdságának értékelésére a behúzásos módszert és a karcolásos módszert alkalmaztuk. A behúzás módszere HR-150Egy Rockwell keménységmérő 150 kg-os terheléssel; a karcolásos módszer HH-3000 karcvizsgálót használt 100 N leállási terhelés mellett. A Z5135 függőleges fúrógéppel végezték el a vágási próbát a csapon. A fúrógép orsófordulatszáma 530r/perc, a menetfúrandó anyag 40Cr edzett és edzett acél, az edzés és megeresztés utáni keménység HRC{10}} volt.

Alapanyagként vákuumos ezüstözött gyorsacél

Alapanyagként M2 gyorsacélt választottak, a minta mérete 6 mm × 6 mm × 10 mm, és ugyanabból az anyagból több, Φ10 mm specifikációjú menetfúró készül a vágási teszthez. A porlasztó célanyag egy pár titán fémtárgy (tisztaság 99,99 százalék) és grafit céltárgy (tisztaság 99,99 százalék), és a kétféle céltárgy (4 célpont) váltakozva és egyenletesen van elhelyezve a bevonat kamra belső falán. Bevonás előtt a minta felületét megőröltük, hogy eltávolítsuk a szabad szemmel látható makroszkopikus karcolásokat, majd tükörfelületre polírozzuk. Ezután a csapot és a mintát homokfúvással eltávolították a felületi réteg szennyeződésétől. Ultrahangos tisztítás után megszárítottuk és behelyeztük a kemencébe. Evakuáljon 9,0 × 10-3 Pa nyomásra, melegítse elő a munkadarabot 60 percig, majd használja az argonion bombázás hatását az aljzat maratásához és tisztításához negatív előfeszítés mellett 30 percig. A vékony film és a szubsztrát közötti kötési szilárdság javítása érdekében a Ti fém átmeneti réteget a hordozóra helyezik a Ti fémblokk segítségével az elpárologtató tégelyben. Végül 4,5 × 10-1 Pa nyomás mellett TiCN vékonyrétegeket készítettek grafit és titán céltárgy együttes porlasztásával 3 órán keresztül. Bevonás után hűtsük 1 órán át, majd vegyük ki a mintát.

www.superbheater.com