A vákuumbevonatoló gép többchip-összehasonlító chip-eszközének tervezési jellemzői

A vákuumbevonatoló gép többchip-összehasonlító chip-eszközének tervezési jellemzői

1) A rögzített henger hengeres alakja, a nagy átmérőjű kialakítás, a vastag falú szerkezet és a kerületileg szimmetrikus rögzítési mód biztosítja, hogy megfelelő szilárdsággal és merevséggel rendelkezzen, ugyanakkor megakadályozza a magas hőmérsékleten porlasztó csiszolóanyag, hogy ne szennyezze a belső részeit, Biztosítsa a tárcsa forgásának rugalmasságát.

2) A kör alakú csapágyülés kialakítása biztosítja a csapágyülék beszerelésének tömítését és függőleges helyzetét; növelje a tengely átmérőjét, növelje a beépítési távolságot a két csapágy között a csapágyülésben, javítsa saját szilárdságát és merevségét, és biztosítsa a forgási folyamatot. Az 1-es tengely merevsége és a tárcsa forgási rugalmassága, a pozíció ismételhetőségének állandósága.

3) A transzpozíciós mechanizmust terhelve, a tartólemez átmérőjének bővítésével a szerkezet sík irányú effektív felülete megnő, és egy nagy átmérőjű (Φ26,5mm) összehasonlító fólia szerelhető fel, amely elősegíti a az optikai út beállítása és az optikai film minőségének javítása; Összehasonlító egységként egyetlen üvegdarabot használnak, és az összehasonlító darabot egy háromdimenziós térbe helyezik. Több üvegdarabot egymásra helyeznek és beépítenek egy összehasonlító darab tárolóhengerbe, így egyszerre 50-100 darab összehasonlító darab helyezhető el, ami megoldja a bevonógép túlzott bevonatának problémáját. A precíziós optikai filmek rétegeinek száma viszonylag kicsi, ami befolyásolja a bevonatrétegek számát és a pontosságot.

4) A pozicionáló lemez és a rés típusú optikai csatolás együttműködése a rés alakú optikai csatoláson keresztül érzékelhető a pozicionáló lemezen lévő három egyenlően elosztott 120 fokos rés, és a motor forgását leállításhoz szabályozzuk. Az 1-es tengely forgásának és pozícionálásának következetessége garantált, a tárcsa pedig a pontos pick-művelet végrehajtásához hajtja végre.

5) A Wilson tömítőmechanizmust bevezetik a forgó tömítő betápláló mechanizmusba, amely nemcsak a motor által hajtott tengely rugalmas forgását biztosítja a fogaskerekek összekapcsolásán keresztül, hanem biztosítja a vákuumkamra külső tömítő hatását is. A vákuumbevonatoló gép többchip-összehasonlító eszközének optimalizált kialakítása a következő jellemzőkkel rendelkezik: (1) Egyszerű szerkezet, nagy szilárdság és jó megbízhatóság; (2) Az összehasonlító chipek száma nagy, a gyártási hatékonyság javul, és az ultra-többrétegű precíziós optika bevonható (3) Az összehasonlító fólia átmérője megnő, a filmfigyelés pontossága javul, a hardverrendszerrel szemben támasztott követelmények csökkennek, és a rendszer könnyen megvalósítható automatikus vezérléssel;

A vákuumbevonó gép kémiai összetételének egységessége:

vagyis a filmben a vegyület atomi összetétele könnyen egyenetlen lesz, mert a standard túl kicsi. Ha a SiTiO3 film tudománytalan, akkor a felület tényleges összetétele a következő lesz. A frakció nem SiTiO3, de lehet más frakció. A bevont fólia nem a kívánt fólia kémiai összetétele, ami egyben a vákuumbevonat műszaki tartalma is.

A vákuumbevonó gép vastagságának egyenletessége: felfogható az érdesség is. Az optikai fóliák színvonalát tekintve (azaz 1/10 hullámhossz egységben kb. 100A) a vákuumbevonatoló gép egységessége ma már egészen jó. Az érdesség a látható fény hullámhosszának 1/10 tartományában könnyen manipulálható, ami azt jelenti, hogy a vákuumbevonat nem akadályozza a film optikai tulajdonságait.

A vákuumbevonó gép rácsrendjének egyenletessége:

Ez határozza meg, hogy a fólia egykristályos, polikristályos vagy amorf, ami a vákuumbevonat-technológiában gyakran előforduló probléma.

www.superbheater.com