Vékony filmrétegek felhordása alapfelületekre vákuumbevonó porlasztásos módszerével

Vékony filmrétegek felhordása alapfelületekre vákuumbevonó porlasztásos módszerével

A porlasztás olyan jelenség, amelyben töltött részecskéket (általában az inert gáz pozitív ionjait) használnak a szilárd anyag (a továbbiakban: célpont) felszínének bombázására, aminek következtében a céltárgy felszínén lévő atomok (vagy molekulák) kiszöknek azt. Ezt a jelenséget Grove fedezte fel 1842-ben, miközben kísérletileg vizsgálta a katódos korrózió problémáját, amikor a katódanyag a vákuumcső falára vándorolt. A vákuumbevonatot 1877-ben vezették be ezzel a porlasztásos módszerrel vékony filmrétegek felhordására a hordozóra.

Vákuumos bevonógép osztályozása és alkalmazási köre

Általában az általunk használt munkadarab gáztalanítási módszer a sütés, és a munkadarabban lévő gáz és nedvesség melegítéssel távozik. Bevonás előtt a munkadarabot szivattyúzás közben felmelegítik. A vákuumkamrában lévő gázzal együtt a vákuumszivattyú kiszivattyúzza.

Különböző gáztalanítási intézkedéseket alkalmaznak a különböző munkadarabokon, hogy hatékonyan szabályozzák a gáz- és nedvességkibocsátást a munkadarabon belül, és javítsák a bevonat stabilitását és egyenletességét. A vákuumbevonó gép osztályozása és alkalmazási köre A vákuumbevonatoló gép főként olyan bevonattípusra vonatkozik, amelyet nagy vákuumban kell elvégezni, beleértve sokféle típust, beleértve a vákuumionos elpárologtatást, a magnetronos porlasztást, az MBE molekulasugaras epitaxiát, a PLD lézeres porlasztásos leválasztást És annyiféle.

A vákuumbevonatoló gép valószínűsége magának a munkadarabnak a fizikai tulajdonságaitól függ

Egyes munkadarabok önmagukban is sok gázt, nedvességet stb. Ezek az anyagok a berendezés felmelegedésekor a vákuumkamrába kerülnek, csökkentve a vákuum mértékét. Ráadásul egyes gázok mérgező összetevőket tartalmaznak, amelyek közvetlenül károsítják a vákuumkamrát. A belső mechanikai szerkezet miatt a berendezés nem működik megfelelően. Ezenkívül a bevonási folyamat során a munkadarabban lévő gáz felmelegedése és tágulása miatt könnyen megrepedhet a bevont film. Természetesen ennek a helyzetnek a valószínűsége függ magának a munkadarabnak a fizikai tulajdonságaitól, például a könnyen tágulható műanyagoktól, ennek valószínűsége viszonylag nagy. Kemény anyagoknál, például fémnél ennek a valószínűsége viszonylag kicsi, de nem hagyható figyelmen kívül, ezért nagyon szükséges a munkadarab gáztalanítása.

A vákuumállapot az a környezet, amely támogatja a vákuumbevonó gép működését, különös tekintettel a nagy vákuumot igénylő berendezésekre. Általában nagyfokú vákuumot kell elérnünk. A légelszívó rendszer szerepe nélkülözhetetlen, de a légelszívó rendszeren kívül a vákuum bevonó berendezésben Az üzemeltetés folyamatában további szempont a munkadarab gáztalanítása.

www.superbheater.com